注意：水環(huán)真空泵嚴(yán)禁無(wú)液體空轉(zhuǎn)，以免損壞零件；嚴(yán)禁泵體內(nèi)滿水啟動(dòng)；水環(huán)真空泵啟動(dòng)后，在出口閥未開(kāi)的情況下，嚴(yán)禁長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行。

接著檢查廢氣旁通閥和電子氣動(dòng)壓力轉(zhuǎn)換}oDME通過(guò)對(duì)電子氣動(dòng)壓力轉(zhuǎn)換閥對(duì)廢氣旁通閥進(jìn)行控制，以調(diào)節(jié)增壓壓力。廢氣旁通閥由一個(gè)膜片箱氣動(dòng)調(diào)整。電子氣動(dòng)壓力轉(zhuǎn)換閥向膜片箱施加真空．推動(dòng)廢氣旁通操控桿對(duì)廢氣旁通閥進(jìn)行控制(圖2)。通過(guò)調(diào)節(jié)加速踏板，并觀察廢氣旁通操控桿，廢氣旁通操控桿可以動(dòng)作，初步判斷廢氣旁通閥無(wú)卡滯現(xiàn)象。而電子氣動(dòng)壓力轉(zhuǎn)換閥也可以動(dòng)作，進(jìn)一步拆下電子氣動(dòng)壓力轉(zhuǎn)換閥．檢查真空管．無(wú)破損和泄漏現(xiàn)象，又測(cè)量電子氣動(dòng)壓力轉(zhuǎn)換閥的電阻，為11Ω(圖3)，正常（20℃時(shí)為ΩΩ）且電子氣動(dòng)壓力轉(zhuǎn)換閥表面無(wú)污物(圖4)。初步判斷電子氣動(dòng)壓力轉(zhuǎn)換閥正常。

檢查真空泵充油，凍干機(jī)必要換掉臟油，檢查壓力。檢查干燥空磨口是否在整個(gè)密封面上均勻涂布了真空油。凍干機(jī)采用帶8個(gè)真空橡膠密封閥的干燥室時(shí)應(yīng)摘下真空橡膠密封閥，用橡膠塞堵上接口，抽真空進(jìn)行檢查并依次換裝真空橡膠密封閥進(jìn)行檢查。

真空破壞閥廣泛應(yīng)用于各種容易產(chǎn)生真空的系統(tǒng)，如消防、泳池、綠地噴灌、給排水、船塢、電廠、冶金、造船等領(lǐng)域，在系統(tǒng)形成負(fù)壓的時(shí)候及時(shí)吸入空氣保護(hù)系統(tǒng)，在管道或容器因系統(tǒng)運(yùn)行或停止而產(chǎn)生負(fù)壓或真空逐步升高時(shí)，真空破壞閥能自動(dòng)開(kāi)啟，破壞真空效應(yīng)，使管道及其它設(shè)備不至產(chǎn)生癟、凹裂等現(xiàn)象，以保護(hù)設(shè)備的。

公司主要從事壓力管道組件，低功率氣動(dòng)控制閥，流體設(shè)備，真空電子潔凈設(shè)備及其相關(guān)零部件。公司半導(dǎo)體領(lǐng)域的產(chǎn)品主要是腔體，管件，閥，泵等零部件，應(yīng)用于真空，氣體領(lǐng)域。公司重點(diǎn)研發(fā)真空半導(dǎo)體零部件的加工，表面處理等工藝，并持續(xù)提供高端高潔凈泵，超潔凈管道管件，超潔凈高密封性真空腔體。

從圖1所示結(jié)構(gòu)可以看出，所進(jìn)行的真空度控制應(yīng)該還是手動(dòng)調(diào)節(jié)方式，即固定機(jī)械泵抽速（一般是全開(kāi)狀態(tài)），然后通過(guò)調(diào)節(jié)泄漏閥的開(kāi)度來(lái)達(dá)到不同的真空度，但這種手動(dòng)控制方式很難保證真空度控制的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，完全不能按照設(shè)計(jì)好的不同設(shè)定值對(duì)真空度進(jìn)行控制。